氣體質(zhì)量流量控制器的密封材料如何選擇？

質(zhì)量流量控制器可以用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要注意, 對于使用腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要恰當選擇型號和密封材料。用戶(hù)在訂貨時(shí), 需要向供貨廠(chǎng)商特殊聲明使用氣體, 以免因為選型或選擇密封材料錯誤, 造成嚴重損失。

通常氣體質(zhì)量流量控制器接觸工作氣體的濕材料為316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分為金屬密封和橡膠密封兩大類(lèi)。金屬密封的材料一般為不銹鋼、金或鎳等耐腐蝕材料。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。對于三氯化硼、HF等強腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。

由于金屬密封的MFC價(jià)格較高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 均采用橡膠密封的MFC。如果不特殊聲明, MFC都采用氟橡膠密封, 可以用于大多數酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如可以用于HCl等鹵族干燥氣體。其它一些特殊腐蝕性氣體, 需要采用特種橡膠。氨氣——需要采用耐氨橡膠, 如乙丙橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 溶劑汽氛(C3H6O、C6H5CH3等)——需要采用硅橡膠; 三三氯化硼、HF等——需要采用全氟橡膠。

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視頻作者：北京曉韜科技有限公司

氣體質(zhì)量流量控制器工作壓差范圍是個(gè)什么概念?

氣體質(zhì)量流量控制器在進(jìn)出氣接頭兩端有一定的壓力差下才能正產(chǎn)工作，MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差小于0.1 MPa, 有可能操控流量達不上滿(mǎn)量程值; 若高過(guò)0.3MPa, 有可能在關(guān)閉狀態(tài)下仍有氣體通過(guò)，即電磁閥漏氣?？蛻?hù)應用MFC時(shí), 無(wú)論客戶(hù)工作的反應腔室是真空環(huán)境還是是髙壓狀態(tài), 都應保證MFC進(jìn)出氣兩端的壓差維持在所規定壓差范圍內, 而且壓差要相持續穩定。

氣體質(zhì)量流量控制器顯示方式有哪些

1、 分體二次數顯儀表。采用按鍵式的操作方式，測量的精度高，多款外形尺寸可選，雙四位的LED顯示，支持電流、電壓的輸入方式，可帶多個(gè)控制點(diǎn)、多窗口顯示，適用于流量等過(guò)程量的監測，是一款非常高的產(chǎn)品。   

2、 本體觸摸按鍵顯示。在流量計本體即可進(jìn)行流量大小的調節與顯示，除了具有精度等級高，線(xiàn)性精度好以外，操作簡(jiǎn)單、便攜也是本產(chǎn)品的一大主要特點(diǎn)。  

3、 觸摸屏顯示操作。這是一種智能化、自動(dòng)化的操作方式，適合多氣路以及產(chǎn)品的集成，一鍵啟動(dòng)，人機界面，具有靈敏的反應速度、易于交流、堅固耐用、節省空間等優(yōu)點(diǎn),是目前便捷、簡(jiǎn)單、自然的一種人機交互方式,用戶(hù)只需用手指輕輕一點(diǎn)顯示屏上的圖標或文字就能操作,給人們的生活帶來(lái)了很大的方便。